Một vài thuật ngữ về phòng sạch cần biết

• Air Lock (Phòng ngăn không khí): Là phòng đặt giữa phòng sạch và không gian bên ngoài, nó có tác dụng phòng đệm hay phòng trung chuyển khi vận chuyển vật liệu ra vào khỏi khu vực phòng sạch.
• Air flow rate (Lưu lượng dòng khí): Thể tích dòng khí trong mỗi đơn vị thời gian.
• Air Shower (Phòng tắm khí): Là phòng nhỏ có bố trí các vòi phun khí nén, nhằm làm sạch nhân viên trước khi đi vào phòng sạch.
• Airborne Particulate Cleanliness Class Number (Cấp độ sạch về số lượng các hạt có trong không khí): Cấp độ càng nhỏ chứng tỏ phòng càng sạch.
• Ceiling Grid System (Hệ thống khung cửa cần trần nhà): Là cấu trúc xây dựng có lắp đặt hệ thống chiếu sáng và lọc không khí cho phòng sạch.
• Cleanroom Partitions (Các tấm ngăn trong phòng sạch): Là các tấm tường được sử dụng để ngăn phòng sạch thành nhiều khu vực sạch đáp ứng các yêu cầu sạch khác nhau.
• Clean Room Pass Thrus (Phòng đi ngang qua phòng sạch): Là phòng ngăn không khí, dùng để làm hành lang dành cho sản phẩm và các nguyên vật liệu ra vào khỏi khu vực phòng sạch mà không có nhân viên đi vào để tránh sự xâm nhập của các yếu tố nhiễm bẩn.
• Clean Room Suits (Quần áo sạch): Bộ quần áo được làm từ vải không dệt, sợi chống tĩnh điện, thường được mặc trùm bên ngoài quần áo thông thường.
• Clean Room Tables (Bàn làm việc trong phòng sạch): Bàn được làm từ các vật liệu chuyên dụng và thiết kế chuyên biệt dùng trong phòng sạch.
• Cleanzone: Không gian tập trung các hạt có trong không khí được kiểm soát dưới mức độ cho phép.
• Contamination (Sự nhiễm bẩn): Là các chất nguy hại hoặc chất không mong muốn có mặt trong môi trường làm giảm độ tinh khiết.
• Electrostatic Discharge (Phóng điện do tĩnh điện): Sự giải phóng điện tích không có kiểm soát của điện thế làm phá hỏng các sản phẩm bán dẫn.
• Equipment Layout (Mặt bằng triển khai thiết bị): Bản tóm tắt về phòng sạch và các khu vực chức năng  khác cần thiết liên kết ăn khớp với nhau về chức năng và phối hợp hoạt động.
• Federal Standard 209E: Văn bản tuyên bố tiêu chuẩn độ sạch không khí trong phòng sạch.
• Filter Module (Máy lọc): Thiết bị lắp bộ lọc HEPA hoặc ULPA, được lắp ở trần nhà hoặc trong tường của phòng sạch.
• HEPA (High Effciency Particulate Air) Filter (Bộ lọc bụi trong không khí hiệu năng cao): Khả năng lọc không khí , giữ lại ít nhất 99,97% các hạt bụi có kích thước nhỏ tới 0,3 micron.
• ULPA (Ultra Low Particulate Air) Filter (Bộ lọc bụi cực nhỏ trong không khí): Bộ lọc có thể giữ lại 99,9999% các tiểu phân có kích thước nhỏ tới 0,12 micron.
• HVAC (Heating, Ventilation anh Air Conditioning) Systems (Hệ thống sưởi, thông gió và điều hòa không khí): Thiết bị cung cấp, duy trì việc sưởi ấm, làm mát và điều hòa không khí.
• Laminar Flow (Thổi gió từng lớp): Thổi gió trong một khu vực có giới hạn không gian xác định với hướng và vận tốc gió không thay đổi.
• Microbes (Vi sinh vật): Các sinh vật cực nhỏ, thường mang theo bệnh, chúng thường được phát tán từ da người khi tế bào da bị bong tróc.
• Particle Size (Kích thước tiểu phân): Số đo, kích thước của một hạt.
• Particle (Tiểu phân): Là vật thể, ở dạng rắn hoặc lỏng, có kích thước từ 0,001 - 1,000 micron.
• Particulate (Hạt): Là vật thể bao gồm nhiều tiểu phân tách biệt nhau.
• Prefilters (Lọc sơ bộ, tiền lọc): Lọc bổ sung được dùng để nối tiếp với bộ lọc chính, lọc tiểu phân cỡ lớn và bảo vệ bộ lọc chính không bị nhiễm bẩn quá mức.
• Sample Acquisition Time (Thời gian tiếp nhận mẫu): Thời gian thiết bị đếm hạt tích lũy dữ liệu đếm trước khi trả về zero và tiếp tục đếm lại lần nữa.
• Sealant (Gioăng, keo bít kín): Chất dẻo hoặc silicon dùng để gắn bộ lọc HEPA vào khung trần nhà.
• Turbulent Flow (Dòng chảy rối): Dòng không khí trong một không gian nhất định.
• Utility Matrix (Bảng khai thác sử dụng thiết bị): Tổng kết các phân tích về việc khai thác sử dụng từng thiết bị để lập kế hoạch xây dựng một phòng sạch.
• Unidirectional Airflow Cleanrooms/ Laminar Airflow Cleanrooms (Phòng sạch có dòng khí theo một hướng duy nhất/ dòng khí phân nhiều lớp).